5月31日上午，第八届MEMS智能传感器产业生态发展大会在蚌埠举办。副省长任清华宣布大会开幕。中国兵器工业集团副总经理史志荣、中国微米纳米技术学会副理事长王跃林、蚌埠市委书记马军分别致辞；中国科学院院士段树民、中国工程院院士蒋庄德、中国科学院院士毛明、中国工程院院士杨树兴、中国科学院院士刘胜等900余名专家学者和企业家出席会议。
大会现场
此次大会以“芯聚江淮 智感世界”为主题，由安徽省科学技术厅、中国兵器工业集团有限公司民品产业部、蚌埠市人民政府、中国微米纳米技术学会、异质异构集成微系统全国重点实验室、临近空间环境特性及效应全国重点实验室联合主办，中国传感器与物联网产业联盟大力支持。
蚌埠是中国三大传感器研发制造基地之一，深耕MEMS传感器30余年，是安徽省唯一、全国为数不多的同时拥有集成电路及MEMS晶圆生产线的城市。近年来，蚌埠市上下按照省委、省政府部署要求，依托安徽北方微电子研究院等大院大所和龙头企业，加快布局智能传感产业，制定出台了《蚌埠市推动智能传感产业高质量发展若干政策》《关于支持智能传感产业人才发展的十条措施》等系列政策，组建了超70亿元的智能传感产业发展基金，实施了全国促进智能传感产业发展条例，蚌埠市已集聚智能传感产业相关企业200余家，形成了涵盖材料装备、研发设计、晶圆制造、封装测试、终端应用的产研一体、链群共生的发展格局，中国传感谷跻身全国十大高质量传感器园区第六位。
大会现场
开幕式上，异质异构集成微系统全国重点实验室成功揭牌，并正式发布“MEMS-OCS(光交叉互联芯片)微纳集成工艺体系”“CavPiezo(Cavity-SOI Piezo，空腔型绝缘体上硅基压电MEMS 工艺体系)工艺体系”“SMCD(Surface Micromechanical Capacitive Device:表面微机械电容式器件工艺体系)工艺体系”等三套原创工艺技术和七款产品，破解了微纳领域核心技术瓶颈，搭建了自主可控技术与产业体系。
大会期间，《集成传感与微系统》期刊正式发布，主办单位为安徽北方微电子研究院集团有限公司。该期刊旨在打造高水平的学术交流平台，致力于推动从集成器件、智能传感到微系统集成的全产业链创新融合，汇聚科研智慧，助力关键核心技术突破。期刊聘请中国科学院刘胜院士担任主编，安徽北方微电子研究院集团有限公司陈丙根董事长、东南大学黄庆安教授担任执行主编。
大会发布了蚌埠市首轮MEMS工程流片券政策。按照这一政策，企业最高可按其流片费用的50%获得补助，每家企业每年获得的补助总额最高可达500万元，能够进一步降低企业MEMS工程流片成本，助力芯片、器件、模组等关键技术研发与成果转化，推动蚌埠市智能传感产业高质量发展。
大会还推介了中国传感谷和《支持中国传感谷发展若干政策（2.0版）》，举行了智能传感产业创新创业大赛颁奖活动。总协议金额45.8亿元的20个智能传感项目在会上进行了展示。部分院士、专家作大会主旨演讲。大会期间，累计30余位专家、企业家作专题报告。（文/图 王文）
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